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材料学院博士生研制出“纳米校徽”

时间: 2016-09-13   来源:   作者:   点击: 33

材料学院博士生研制出“纳米校徽”

发布人:尤祖明发布时间:2016-06-15


近日,材料科学与工程学院博士生梁宁宁通过Auriga Crossbeam双束系统刻蚀出纳米级校徽,在提高精密仪器操作技能水平的同时,体现出对母校的感恩之情。

操作系统由德国卡尔蔡司公司(Carl Zeiss)生产,配置聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)和扫描电子束(Scanning Electron Microscope, SEM)的镜筒。在电子束微观成像实时观察监控下,用离子束对材料进行微纳米加工。聚焦离子束是利用静电透镜将离子束聚焦成极小尺寸的显微加工仪器,聚焦的离子束在电场作用下可被加速或减速,以任何能量与靶材发生作用,并且在固体中有很好的直进性。离子具有元素性质,因此聚焦离子束与物质相互作用时能产生许多可被利用的效应。通过荷能离子轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入和改性。目前商用系统的离子束为液相金属离子源(Liquid Metal Ion Source,LMIS),金属材质为镓(Gallium, Ga),因为镓元素具有低熔点、低蒸气压、及良好的抗氧化力。聚焦离子束轰击材料表面,将基体材料的原子溅射出表面,通过真空系统抽离,实现材料的刻蚀,这是聚焦离子束最重要的应用,实现微米级和亚微米级高精度微观加工,包括平面刻蚀、剖面切割、三维切面重构等。此次加工先将南京理工大学校徽转换成黑白去色图像,然后利用NPVE软件,导入校徽图像,在镓离子束(加速电压30KV, 束流5PA)作用下,在硅基体表面按图像轨迹进行刻蚀,完成后扫描成像。